MEMS VOA（可调光衰减器）是光通信系统中的一种重要的光无源器件，具有小体积、低插损、快速响应、稳定性好、易于批量生产等优点，能很好地适应光纤系统小型化与集成化的发展趋势。

      VMUX是信道光功率预均衡合波模块，具有合波和各信道光功率预均衡的功能，即可对DWDM系统的每个通道光功率进行均衡，实现光信号的长距离无误码传输。VMUX模块提供多路光信道可调光衰减及合波，可在电路控制下调节输入与输出之间的光衰减量。在光通信线路中，经过EDFA之前的各波长通道的光，都必须用VUMX模块进行功率均衡，以保证各通道的光信号功率控制在可允许的范围内，避免非均衡增益经EDFA放大而导致比较严重的非线性效应。

        如图，VMUX模块由均衡功率的VOA组和合波的MUX构成，其常见结构有两种：一种是用可靠的MEMS VOA阵列与基于成熟的介质膜滤光器（TFF）技术构建的MUX实现，另一种是用新兴的PLC VOA阵列与基于波导阵列光栅（AWG）技术构建的MUX实现。两者应用的场合各不相同，前者常用在信道数较少（n≤16）的系统中，此时的性价比高，MEMS VOA组无需配备制冷器与温控电路，无需进行散热设计，且整个模块具有更小的PDL与偏振膜色散（PMD），更高的隔离度和更低的功耗。