电调可变光衰减器（EVOA）是解决DWDM光纤通信网中信道均衡问题的主要途径之一，而随着光纤通信由点到点传输向动态光网络的升级，对EVOA的市场需求日益增长。EVOA主要集成在模块或者子系统中，比如基于TFF滤波片的传统DWDM模块，被要求加入VOA实现信道的动态均衡；基于PLC技术的AWG，也以AWG+VOA模块的形式出现；在ROADM子系统中，VOA更是不可或缺。

      基于MEMS技术的VOA是EVOA的主要解决方案之一，具有体积小、功耗低的优势。MEMS VOA通过静电或者电磁力驱动一个扭转反射镜，使入射光束偏转来实现衰减。通常以一个双光纤准直器与MEMS芯片进行耦合，实现紧凑的封装结构。然而MEMS VOA设计中的关键问题之一是波长相关性（WDL），双光纤准直器通过反射镜的耦合，相当于两个准直器之间在角度失配情况下的耦合，其WDL随失配角度增 大而劣化。一个未进行WDL优化设计的MEMS VOA，当中心波长衰减25dB时，在40nm带宽内的WDL达1.8dB。为了便于对WDL进行优化设计，一般采用C-Lens制作双光纤 准直器，比GRIN-Lens具有更好的设计灵活性，经过优化设计的MEMS VOA，在40dB衰减范围内的WDL，可以达到0.4dB以下。当然，MEMS VOA也有单通道应用情况，对WDL就没有那么高的要求了。

      MEMS VOA设计中的关键问题之二是可靠性，支撑反射镜的扭转梁应具有适当的弹性系数，以保证能在适当的驱动电压（静电驱动）或者驱动电流（电磁驱动）下偏转足 够的角度，同时必须有足够的强度以抗击震动。而且，扭镜结构的共振频率设计，应远离日常环境中的振动频率以避免共振损害，一般设计在千赫兹以上。