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Φ200 mm硅单晶的生长工艺特点 2007-08-05: 集成电路的发展要求硅材料的研究工作能与之同步。 MDRAM 是当前半导体器件的代表产品，其特征尺寸的缩小，芯片面积的增大要求高质量大直径的硅片。国外许多 ...; (3014)次阅读|(0)个评论

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