注册 登录
光电工程师社区 返回首页

rain1234567890的个人空间 https://club.oecr.com/?93102 [收藏] [复制] [分享] [RSS]

日志

为什么需要高精度干涉仪

已有 634 次阅读2011-5-1 07:47 |个人分类:干涉计|系统分类:业界视点|

禁不住要问,高到什么程度算是高精度呢,高精度有什么用呢。
  成型工业比如数码相机镜头,研磨盘,光学测量的基准面,高分辨成像(电脑屏幕)显微镜,激光反光镜相关部品,红外线及X线光学部品,小数点以后两位以上的RMS精度越来越多的被需求。
 半导体ware,LCD平面显示,随着尺寸的增大,对表面的粗糙度,面形的把握和评价,提出了更高的要求。
 应运而生,干涉法高精度测量,就摆到桌面上了。
  干涉法非接触 一般1/10 λ、RMS。那么,1/100,1/1000 λ 就是相对高精度了。
 我的第一篇文章提到的方法,是可以实现的。
    WyKo NCP-1000M 在15年前就已经实现了商品化,干涉法非接触测量 可以分辨到1埃rms 。
国内能达到这里的寥寥无几。

路过

雷人

握手

鲜花

鸡蛋

评论 (0 个评论)

facelist doodle 涂鸦板

您需要登录后才可以评论 登录 | 注册