禁不住要问,高到什么程度算是高精度呢,高精度有什么用呢。
成型工业比如
数码相机镜头,研磨盘,光学
测量的基准面,高分辨成像(电脑屏幕)显微镜,
激光反光镜相关部品,红外线及X线光学部品,小数点以后两位以上的RMS精度越来越多的被需求。
半导体ware,LCD平面
显示,随着尺寸的增大,对表面的粗糙度,面形的把握和评价,提出了更高的要求。
应运而生,干涉法高精度测量,就摆到桌面上了。
干涉法非接触 一般1/10 λ、RMS。那么,1/100,1/1000 λ 就是相对高精度了。
我的第一篇文章提到的方法,是可以实现的。
WyKo NCP-1000M 在15年前就已经实现了商品化,干涉法非接触测量 可以分辨到1埃rms 。
国内能达到这里的寥寥无几。