日志
- 分享 Φ200 mm硅单晶的生长工艺特点
- 集成电路的发展要求硅材料的研究工作能与之同步。 MDRAM 是当前半导体器件的代表产品， 其特征尺寸的缩小， 芯片面积的增大要求高质量大直径的硅片。 国外许多材料厂家已能够批量生产 Φ 200 mm 硅单晶， 同时， 近几年新建成的器件制造线中， 绝大多数是按 200 mm 线设计的。 可以预见未来几年中， 200 mm 硅单晶 ...
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