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2011-4-21 13:49
磁控溅射原理
opturn_yang
磁控溅射(Magnetron Sputtering)原理 磁控溅射属于辉光放电范畴,利用阴极溅射原理进行镀膜。膜层粒子来源于辉光放电中,氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射 ...

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