日志

为什么需要高精度干涉仪

已有 607 次阅读2011-5-1 07:47 |个人分类:干涉计|系统分类:业界视点|

禁不住要问，高到什么程度算是高精度呢，高精度有什么用呢。

成型工业比如数码相机镜头，研磨盘，光学测量的基准面，高分辨成像（电脑屏幕）显微镜，激光反光镜相关部品，红外线及X线光学部品，小数点以后两位以上的RMS精度越来越多的被需求。

半导体ware，LCD平面显示，随着尺寸的增大，对表面的粗糙度，面形的把握和评价，提出了更高的要求。

应运而生，干涉法高精度测量，就摆到桌面上了。

干涉法非接触一般1/10 λ、RMS。那么，1/100,1/1000 λ　就是相对高精度了。

我的第一篇文章提到的方法，是可以实现的。

WyKo NCP-1000M 在15年前就已经实现了商品化，干涉法非接触测量可以分辨到1埃rms 。

国内能达到这里的寥寥无几。

申明：本站为非盈利性公益个人网站，已关闭注册功能，本站所有内容均为网络收集整理，不代表本站立场。如您对某些内容有质疑或不快，请及时联系我们处理！

GMT+8, 2025-12-18 11:14