OEM系列RF电源

OEM系列是由微处理器控制的、水冷的线性RF发生器，可用于半导体领域。它以杰出的可靠性和高RF稳定性而著称。600W到2.8kW的功率输出，输出波动为全量程的±1℅,频率:13.56 MHz,输入电源：208∨或380∨三相交流电，50∕60 Hz.

 

OEM－12B  1.25 k W   13.56 MHz  RF电源

     频率：13.56 MHz

     输入电源：通过按钮用户可选190－252∨单相交流电，50∕60 Hz

     冷却方式：温度不超过35℃的冷却水，每分钟1.2加仑

     遥控接口： RS232（标准配置），模拟型

     尺寸（高×宽×长）：8.75 ×17 × 15.75英寸（252 × 432 × 400mm）

     重量：98磅（44.4kg)

 

OEM－28B   2.75 k W   13.56 MHz  RF电源  

     频率： 13.56 MHz

     输入电源：208∨或380∨三相交流电，50∕60 Hz

     冷却方式：温度不超过35℃的冷却水，每分钟2加仑

     遥控接口： RS232（标准配置），模拟型

     尺寸（高×宽×长）：14×17×21英寸（360×432×540mm）

     重量：185磅（84kg）

 

OEM－6B   650 W   13.56 MHz  RF电源

     频率：13.56 MHz

     输入电源：通过开关可选择190－252∨单相交流电，50∕60 Hz

     冷却方式：温度不超过35℃的冷却水，每分钟0.8加仑

     遥控接口： RS232（标准配置），模拟型

     尺寸（高×宽×长）：8.75×17×15.75英寸（222×432×400mm）

     重量：81磅（36.7kg）

 

OEM－1250   1.25 k W   13.56 MHz  RF电源

     频率：13.56 MHz

     输入电源：208∨三相交流电，50∕60 Hz

     冷却方式：温度不超过35℃的冷却水，每分钟1.2加仑

     遥控接口： RS232（标准配置），模拟型

     尺寸（高×宽×长）：7×17.2×16.5英寸（174×438×419mm）

     重量：48.5（22kg）

 

 

OEM－2000  2 k W   13.56 MHz  RF电源

     频率：13.56 MHz

     输入电源：208∨三相交流电，50∕60 Hz

     冷却方式：温度不超过35℃的冷却水，每分钟1.8加仑

     遥控接口：RS232（标准配置），模拟型

     尺寸（高×宽×长）：7×17.2× 4英寸（178×438×610mm）

     重量：77.2（35kg）