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一. 核心六轴(对准操作单元)
1. 操作前确认,锁死装置是否已经松开.
2. 尽量确保调整时,最佳位置在量程中心附近.前后 都可以移动.
3. 三轴倾斜在同一回转中心,中心点在台面高出21毫米 伸出5毫米.
4. 整个系统的参考点为芯片位置,所以芯片固定尽量平行垂直,确保稳定。
5. 对准调整时步骤:
人眼观察初步对准接近10微米,先调倾斜再调平移.大概位置确定.
使用观察系统,调整分辨率1微米,先调平移再调倾斜,基本位置确定.
使用光源和功率计调整 使用微调装置,调整范围0.2微米,先挑倾斜在调平移.
光轴旋转用于平衡两个输出口的功率值(端面平行)
二. 观察系统(中期监测单元)
1. 先确定上部俯视观察位置,固定侧面观察单元,锁紧左右方向位移台,实现两轴同步。
2. 在点胶固化时、大行程移动时要考虑侧面观察的工作距离,适当拉开避让。
3. 组成观察单元小位移台可能由于震动或者长期使用出现晃动,建议上紧固定螺栓以及顶丝,顶丝固定要均匀,稳定性和运动舒适度两者有冲突,适当平衡两者。
4. 在调整观察视场时,要均匀缓慢调整,先放大器件,再调清晰(距离调近)。
5. 长行程位移台平行度有限,大行程移动往往产生监视位置偏移,不需调整微调机构。
三. 设备维护保养
1. 防尘,镜头清洗尽量采用氮气吹息,设备在不使用的情况下要用隔尘布覆盖。
2. 防锈,定期给观察系统和核心六轴上润滑脂,参考核心器件维护说明。
3. 防电,注意真空泵为110V,观察CCD电源接口要固定,避免接触不实,影响使用寿命。
4. 防震,设备使用和移动时避免大幅震动,每年检测上紧固定螺栓一次。
5. 人眼安全,由于采用LED环形冷光源,长时间使用会产生视觉疲劳,适当休息。
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