1 .Kaufman源: 由阴极(灯丝) 、阳极、屏极、加速极、中和极和磁极等组成

? 源内充Ar(O2), 阴极发射热电子，在电磁场作用下向阳极作螺旋运

动并碰撞Ar(O2)分子，使Ar(O2)分子电离成正离子和电子，在屏

极附近产生电位与阳极相近的等离子体。正离子被接地的屏极拉

出，再被加速极加速(低速正离子被加速极吸引),经中和极中和后以

原子态飞向基板

? 灯丝用RF取代，称RF离子源

? 正离子由屏极拉出，加速极加速，属静电加速。离子动能为阳

极-屏极电位。

Hall：

? 工作原理:

? 1987年由Kaufman提出,称End Hall离子源，即磁场端输出离子

源,简称霍尔离子源

? 源内充Ar(O2),阴极发射热电子2，在电磁场作用下向阳极作螺

旋运动并碰撞Ar(O2)分子，使Ar(O2)分子电离成正离子和电

子，产生等离子体。正离子被阴极加速,并在阴极上方中和,以原

子态飞向基板

? 属电场磁场加速(ExB)