工业激光器主要是指用于加工的激光器，它的发展是激光加工技术发展的前提条件。90年代前，CO 2 激光器和YAG激光器占工业激光器的96%以上，进入90年代，这两类激光器的发展主要表现在功率和光束质量的提高两个方面。CO 2 激光器的功率整整提高了一个量级，但是，真正用于生产加工的CO 2 激光器功率，切割一般不超过3kW，焊接在10kW左右。为提高光束质量，快速轴流CO 2 (准基模输出)激光器发展很快，主要用于切割和深穿透焊。对于YAG激光器，商品器件的功率由500W提高到1000W。采用激光谐振腔内加压缩发散角装置，使激光光束发散角减至5 mrad以下，提高了聚焦功率密度，强化了加工能力。
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