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日志

高性能全自动镀膜光控

已有 643 次阅读2013-11-27 22:31 |系统分类:业界视点| 镀膜

北京奥博泰科技有限公司,是专门研发生产光学镀膜监控系统的公司,我公司FILMATE系列产品主要包括以下产品:

1.    Filmonitor BS宽光谱光学镀膜在线监控系统---基于全光谱监控方式

l         直接观测最为关心的薄膜透过率或者反射率曲线,而不是间接地测量膜层厚度;

l         实时分析镀膜过程中的光谱曲线,及时做出误差分析,通过修改折射率或膜层结构使镀膜结果更接近理论设计;

l         显示和控制非常直观、简单,成膜质量不再依赖于操作工人的经验,提高质量和不同批次间的质量同一性;

l         软件的镀膜过程存储功能,对于大批量生产来说,保证了质量同一性。而对于小批量频繁更换镀制膜系来说,大量减少了工艺试验的时间;

l         软件的膜料折射率和吸收测量功能,使得膜系的调整和工艺的调整变得简单;

l         软件的数据回放功能可以更好更直接的分析镀膜过程中出现的问题;

l         软件的目标光谱曲线功能最大地消除了理论光谱曲线与实际光谱曲线之间的误差,对于成功镀制任意膜系来说都能得到更高的可靠性;

2.    Filmonitor AM3000智能化光学镀膜全自动监控系统---基于高精度单波长监控方式

l         镀制过程一键完成,避免了人为操作的误差,保证了成品率和镀膜结果的同一性;

l         实时显示数据包括:透/反射比,几何厚度,速率,功率,晶片状态等,计算折射率;

l         当前层的信息丰富,包括理论停点,同一监控片的理论曲线,监控片,监控波长,判停方式,极值数,膜料,膜料的折射率,膜层的几何厚度,坩埚号等;

l         具有设置监控方案功能,可以使用换监控片、监控片轮换和不换监控片等方法;

l         与晶控仪通讯功能,可以导入、导出膜系、膜料参数;

3.    Filmeasurer 光学薄膜台式透反射比分光光度计/可以测量球面反射以及颜色,速度快

4.    Filmaster光学薄膜膜系设计与分析软件

电话:010-58051723  13693572892    传真:010-58051722

最后,再次诚邀您光临指导我们的工作!希望我们在技术等多方面有更多的合作交流,为大家的工作带来更大的收获!

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